De Taiwanese autoriteiten zijn een onderzoek gestart naar voormalig TSMC-directeur Wei-Jen Lo met betrekking tot mogelijke overdrachten van bedrijfsgeheimen aan een buitenlandse entiteit, aldus Nikkei Azië. Wei-Jen Lo, die 21 jaar bij TSMC heeft gewerkt, is dit jaar met pensioen gegaan bij het bedrijf. Vervolgens verscheen hij eind oktober bij Intel. Vrijheidstijden meldt dat hij naar verluidt vertrouwelijk materiaal heeft meegenomen met betrekking tot de toonaangevende procestechnologieën van TSMC. Zowel Intel als TSMC hebben geweigerd commentaar te geven op de kwestie. Naar verluidt keerde Lo eind oktober terug naar Intel als “vice-president van R&D”, ongeveer drie maanden nadat hij TSMC had verlaten, een TrendForce rapport geeft aan. Vóór zijn vertrek bij TSMC zou Lo, die als senior vice-president van de ontwikkeling van bedrijfsstrategieën fungeerde, ondergeschikten hebben opgedragen hem kopieën van beperkte technische documenten te verstrekken. Deze documenten hadden naar verluidt betrekking op de N2-, A16-, A14- en post-A14-procestechnologieën van TSMC en hun derivaten. Vanwege zijn hoge positie leidden deze verzoeken destijds volgens Liberty Times niet tot zorgen over de interne veiligheid. Het Liberty Times-rapport beschrijft de verantwoordelijkheden van Wei-Jen Lo bij Intel als “geavanceerde apparatuur- en module-ontwikkeling, van R&D tot pre-massaproductie.” Deze rol omvat het toezicht houden op nieuwe productieapparatuur en procesmodules voorafgaand aan de volledige productie. Hoewel dergelijke verantwoordelijkheden misschien lager lijken voor een positie als vice-president bij grote chipfabrikanten, gezien het belang van afstemming van apparatuur en gereedschapsinstellingen voor de prestaties en opbrengsten van halfgeleiders, had Intel deze positie kunnen innemen om toezicht te houden op nieuwe productietools, gezien het belang van afstemming van apparatuur en gereedschapsinstellingen voor halfgeleiderprestaties. Het is onwaarschijnlijk dat de geheime documenten van TSMC over N2-, A16-, A14- en post-A14-procestechnologieën de 18A-procestechnologie van Intel, die al in massaproductie is, aanzienlijk zullen helpen. De technici van Intel stemmen 18A op unieke wijze af om de defectdichtheid en cd-uniformiteit te optimaliseren. Het 18A-proces verschilt op verschillende punten aanzienlijk van N2 en A16. 18A maakt bijvoorbeeld gebruik van patroonvorming, wat N2 niet doet. Bovendien maakt de A16 gebruik van Super Power Rail voor stroomafgifte aan de achterzijde, waardoor stroom rechtstreeks aan de source en drain van elke transistor wordt geleverd, terwijl PowerVia van 18A stroom levert aan de transistorcontacten. Daarom heeft de specifieke proceservaring van TSMC een beperkte directe waarde voor de ingenieurs van Intel, hoewel deze waardevol zou kunnen zijn voor het concurrentieanalyseteam van Intel. Toekomstige knooppunten, zoals Intel’s 14A en TSMC’s A14, zullen ook aanzienlijk uiteenlopen; Intel’s 14A is van plan om High-NA EUV-lithografietools te gebruiken voor kritische lagen, terwijl TSMC’s A14 zal vertrouwen op Low-NA EUV-lithografietools en multipatterning. Als leider op het gebied van geavanceerde technologieontwikkeling bij TSMC zou Lo waardevolle culturele inzichten kunnen bieden aan Intel’s procesontwikkelings-, integratie- en productieorganisaties. TSMC markeerde aanvankelijk het vertrek van Lo met een afscheidsevenement ter ere van zijn 21 jaar dienst. Na zijn vertrek ontving hij de ITRI Fellow-onderscheiding, uitgereikt door vice-president Hsiao Bi-khim. Omdat TSMC dacht dat hij met pensioen ging, hoefde hij naar verluidt geen niet-concurrentiebeding te ondertekenen, dat doorgaans een baan bij concurrerende bedrijven gedurende 18 maanden verbiedt met een half salaris. TSMC onderzoekt nu of Lo inderdaad bedrijfsgeheimen heeft overgedragen. Wei-Jen Lo was meest recentelijk senior vice-president en hield toezicht op de technologieontwikkeling binnen de R&D-organisatie van TSMC. Hij kwam in 2004 bij TSMC als vice-president van Operations II. Van 2006 tot 2009 leidde hij de R&D-divisie. Vervolgens gaf hij leiding aan de Advanced Technology Business- en productietechnologieactiviteiten van het bedrijf. Onder zijn leiding verzamelde zijn organisatie wereldwijd meer dan 1.500 patenten, waarvan ongeveer 1.000 in de Verenigde Staten. Vóór zijn ambtstermijn bij TSMC bekleedde Dr. Lo senior technische en productiefuncties bij Intel, waaronder toezicht op de ontwikkelingslocatie in Santa Clara van het bedrijf tussen 1997 en 2000, volgens De Org. Zijn vroege carrière omvatte onder meer lesgeven aan een Amerikaanse universiteit en onderzoeksfuncties bij de R&D-organisatie van Motorola en het Xerox Microelectronics Center.
